在夏威夷毛伊島舉行的第十二屆MOVPE大會(huì)上， GaN基材料和器件成為討論的熱點(diǎn)。美國Lumileds公司的技術(shù)主管George Craford在開幕式的報(bào)告中，強(qiáng)調(diào)了MOVPE在半導(dǎo)體照明中的地位。通過MOVPE技術(shù)，Craford以柬埔寨安裝的LED交通信號(hào)燈為例強(qiáng)調(diào)了半導(dǎo)體照明光源的全球影響性。

　　盡管Craford認(rèn)為在襯底和生長工藝兩方面都還需要進(jìn)一步地改善，但對(duì)GaN基LED的技術(shù)前景表示樂觀，他預(yù)測(cè)到2010年全世界的高效LED產(chǎn)能將達(dá)到500億只，假設(shè)10%的傳統(tǒng)光源市場(chǎng)被LED占領(lǐng)，并假設(shè)LED的壽命為10年。這就是說每年的2英寸LED外延片產(chǎn)能將為2500萬片，換句話說將使用1000臺(tái)生長設(shè)備，每臺(tái)每天生長68片外延片才能夠完成如此大的工作量。

　　同一會(huì)議上，美國Cree公司光電子技術(shù)主管John Edmond描述了深紫外LED光源的發(fā)展。John Edmond解釋說，270～340nm波長范圍內(nèi)的半導(dǎo)體固態(tài)光源將會(huì)使熒光生物探測(cè)、紫外通信、水源凈化和一些工業(yè)處理過程的技術(shù)得到發(fā)展。此外，他還表述了最佳化器件幾何尺寸能提高出光率，并報(bào)道了工作電流為20mA時(shí)輸出功率為1mW、峰值波長為340nm的UV-LED器件結(jié)果。

　　韓國三星高級(jí)技術(shù)研究所發(fā)表了另一種提高出光率的方法，通過使用一個(gè)波紋狀界面的襯底，器件結(jié)果相對(duì)傳統(tǒng)的UV-LED功率提高了60%，該技術(shù)使用了標(biāo)準(zhǔn)的光刻工藝和反應(yīng)離子刻蝕工藝。

　　Si襯底在價(jià)格和大尺寸方面占有優(yōu)勢(shì)，但是也有一些缺陷，例如GaN外延層會(huì)由于Si和GaN熱膨脹系數(shù)差異而發(fā)生彎曲和裂紋。英國劍橋大學(xué)的Matthew Charles提出使用AlN過渡層、AlGaN漸變層、AlN/GaN超晶格層以及SiN層來降低張應(yīng)力和位錯(cuò)密度，以生長Si襯底上2～3µm厚的無裂紋GaN外延層。

　　Si襯底上AlGaN/GaN HEMT材料的生長由Emcore公司的Shiping Guo報(bào)告，使用Emcore特有的緩沖層技術(shù)，研究者能夠制備適于HEMT結(jié)構(gòu)生長的Si襯底上2µm厚的無裂紋緩沖層。

　　量子點(diǎn)(QD)結(jié)構(gòu)和器件是這次會(huì)議另一個(gè)討論的熱點(diǎn)，許多研究小組使用了SK生長模式生長了應(yīng)力誘導(dǎo)的自組織量子點(diǎn)結(jié)構(gòu)。（編輯:FJ）