新日鐵將投產(chǎn)高質(zhì)量100mm底板搶奪Cree領(lǐng)地
摘要： 繼美國Cree之后的第二大SiC底板廠商何時(shí)出現(xiàn)?這是SiC半導(dǎo)體市場形成的關(guān)鍵”——眾多SiC半導(dǎo)體的組件技術(shù)人員都這么認(rèn)為。因?yàn)橹灰狢ree獨(dú)霸市場的狀態(tài)持續(xù)，底板價(jià)格就很難降低。此次【ICSCRM】展示了直逼Cree的100mm(4吋)直徑高質(zhì)量底板，提高了在業(yè)界的知名度的就是新日本制鐵。
“繼美國Cree之后的第二大SiC底板廠商何時(shí)出現(xiàn)?這是SiC半導(dǎo)體市場形成的關(guān)鍵”——眾多SiC半導(dǎo)體的組件技術(shù)人員都這么認(rèn)為。因?yàn)橹灰狢ree獨(dú)霸市場的狀態(tài)持續(xù)，底板價(jià)格就很難降低。此次【ICSCRM】展示了直逼Cree的100mm(4吋)直徑高質(zhì)量底板，提高了在業(yè)界的知名度的就是新日本制鐵。
新日本制鐵此次將直徑為100mm的4H-SiC底板的微管(中空貫通缺陷)最低減少到了2個(gè)(演講序號(hào)：Mo-2A-1)。微管的存在密度為0.03個(gè)/cm2。該公司將于2008年度投產(chǎn)這種高質(zhì)量的100mm直徑底板。另外還計(jì)劃投產(chǎn)形成有外延SiC膜的直徑100mm底板。另外，該公司將SiC底板的銷售委托給了日本最大的硅晶圓廠商——信越半導(dǎo)體。（編輯：PCL）
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