中科院知識(shí)創(chuàng)新工程重要方向項(xiàng)目“氮化鎵基激光器”通過(guò)驗(yàn)收
摘要: 中國(guó)科學(xué)院知識(shí)創(chuàng)新工程重要方向項(xiàng)目“氮化鎵基激光器 (KGCX2-SW-115)”于2007年11月26日通過(guò)專(zhuān)家驗(yàn)收。
中國(guó)科學(xué)院知識(shí)創(chuàng)新工程重要方向項(xiàng)目“氮化鎵基激光器 (KGCX2-SW-115)”于2007年11月26日通過(guò)專(zhuān)家驗(yàn)收。驗(yàn)收專(zhuān)家組聽(tīng)取了項(xiàng)目負(fù)責(zé)人楊輝研究員所作的工作總結(jié)報(bào)告,以及項(xiàng)目的測(cè)試報(bào)告和經(jīng)費(fèi)收支審計(jì)報(bào)告,并觀看了現(xiàn)場(chǎng)演示。
氮化鎵基半導(dǎo)體材料是繼硅和砷化鎵基材料后的新一代半導(dǎo)體材料,被稱(chēng)為第三代半導(dǎo)體材料,它具有寬的帶隙,優(yōu)異的物理性能和化學(xué)性能,在光電子領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用前景和研究?jī)r(jià)值。用氮化鎵基半導(dǎo)體材料研制成的氮化鎵基激光器在國(guó)防安全領(lǐng)域和光信息存儲(chǔ)、激光全色顯示、激光打印、大氣環(huán)境檢測(cè)、水下通信、雙色激光探測(cè)等領(lǐng)域具有重要的應(yīng)用價(jià)值。
2005年4月,半導(dǎo)體所承擔(dān)了“氮化鎵基激光器 (KGCX2-SW-115)”研究項(xiàng)目,經(jīng)過(guò)兩年多創(chuàng)新性的研究,實(shí)現(xiàn)了氮化鎵基激光器核心技術(shù)的突破,專(zhuān)家組認(rèn)為,該項(xiàng)目在氮化鎵基激光器的材料生長(zhǎng)、器件工藝和測(cè)試技術(shù)等方面攻克了一系列技術(shù)難關(guān),按時(shí)全面完成了任務(wù)書(shū)規(guī)定的研究目標(biāo)。GaN材料的背景電子濃度小于5×1016/立方厘米,室溫電子遷移率穩(wěn)定在900平方厘米/伏秒以上、達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平,P型GaN空穴濃度達(dá)到5×1017/立方厘米,電阻率小于1歐姆厘米。在國(guó)內(nèi)首次研制成功了室溫連續(xù)工作的氮化鎵基激光器,條寬和條長(zhǎng)分別為2.5微米和800微米,激光波長(zhǎng)410納米,閾值電流110毫安,閾值電流密度5.5kA/平方厘米,在150毫安,工作電流時(shí),激光器的輸出功率9.6毫瓦,為研制實(shí)用化的激光器打下了堅(jiān)實(shí)的基礎(chǔ)。
該項(xiàng)目在研期間,在激光器結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、材料生長(zhǎng)和器件工藝制作方面形成具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的國(guó)家發(fā)明專(zhuān)利5項(xiàng),在國(guó)內(nèi)外重要刊物發(fā)表相關(guān)文章11篇。通過(guò)該項(xiàng)目的研究培養(yǎng)了一批高水平的光電子材料與器件的研究人才,形成了一支高素質(zhì)的研究隊(duì)伍。科研人員將力爭(zhēng)通過(guò)3年左右的研究,研究成功實(shí)用化的405納米激光器及450納米藍(lán)綠色激光器,使其在國(guó)民經(jīng)濟(jì)和國(guó)家重大需求中發(fā)揮作用。(編輯:FJ )
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