美國工藝設(shè)備供應(yīng)商Aviza表示，它的等離子增強的CVD系統(tǒng)取代了另一家競爭者成為前五名高亮度LED制造商的供應(yīng)商。Aviza產(chǎn)品事業(yè)部的高級副總Kevin Crofton表示，下訂單的是位列全球前五的高亮度LED制造商。半導(dǎo)體設(shè)備供應(yīng)商Aviza技術(shù)公司重拾化合物業(yè)務(wù)，憑著大量的刻蝕和CVD設(shè)備訂單贏得重大的勝利。Aviza的Delta i2L等離子增強型CVD(PECVD)和Omega i2L刻蝕系統(tǒng)產(chǎn)量高，正常運行時間長，可靠性好，工藝穩(wěn)定性更強;目前正在客戶的批量級廠房中，準(zhǔn)備用于生產(chǎn)GaAs基和InGaN基LED。

　　Crofton說，這家LED制造商既是現(xiàn)有設(shè)備也是Aviza舊型CVD設(shè)備的客戶，不過最近一筆訂單尤為重要，原因是Omega刻蝕設(shè)備現(xiàn)在被認為是“創(chuàng)紀(jì)錄得工藝設(shè)備(PTOR)”。在沉積設(shè)備方面，Aviza是這家LED制造商針對PE-CVD應(yīng)用的新型供應(yīng)商。

　　這個訂單揭示了最近Aviza的策略上的變化，在DRAM這個殘酷的競爭產(chǎn)業(yè)里，他們越來越注重比如III-V族、功率半導(dǎo)體、LED和MEMS等需要進行薄膜生長的市場，并已初期奏效。Crofton補充道，“僅僅在過去幾年內(nèi)，我們的產(chǎn)品組合已明顯偏向這些生長市場”，據(jù)市調(diào)公司Strategies Unlimited表明，未來幾年HB-LED的年增長率將達到20%。“只要這些市場仍在增長，我們將憑著獲得認可的產(chǎn)品迎頭趕上它們”。(編輯：CBE)