大日本網(wǎng)屏開(kāi)發(fā)成功了不使用溶劑而使用干燥空氣的300mm外延片清洗裝置用干燥模塊。此前外延片的干燥工序使用的是IPA(異丙醇，(CH3)2CHOH)，而此次采用了向清洗后的外延片吹送干燥空氣進(jìn)行干燥的新技術(shù)。IPA是大氣污染法禁止使用的VOC(揮發(fā)性有機(jī)化合物)的一種。由于不使用IPA，因此可以減小環(huán)境污染。

　　新模塊使用的干燥空氣的露點(diǎn)非常低，即使到-70℃也不會(huì)結(jié)露，因此清洗后的水分可以在很短的時(shí)間內(nèi)清除。處理時(shí)間與使用IPA相比，大約只有1/2。

　　由于不使用IPA，還可以大幅降低運(yùn)用成本。在使用原來(lái)的模塊時(shí)，每臺(tái)裝置每年大約要使用1萬(wàn)6206升IPA。這一費(fèi)用每年可以削減約900萬(wàn)日元，據(jù)大日本網(wǎng)屏推算，每年的運(yùn)用成本最多可以縮減至原來(lái)的1/8。

　　原來(lái)的干燥方式(左)和新開(kāi)發(fā)的干燥方式(右)

　　此次的模塊已開(kāi)始在該公司2005年上市的批量式清洗裝置“FC-3100”中嵌入銷(xiāo)售，模塊單體價(jià)格沒(méi)有公布。嵌入新模塊的裝置與采用原模塊的裝置相比，“價(jià)格多少要高一些”(該公司公關(guān)室)。FC-3100的售價(jià)為3億～4億日元(因規(guī)格而異)。采用原模塊的機(jī)型與采用新模塊的機(jī)型均在這一價(jià)格范圍內(nèi)。采用新模塊的FC-3100將從2008年12月開(kāi)始銷(xiāo)售。(編輯：CBE)