目錄

　　1、前言

　　2、圖形化襯底提高出光率原理

　　3、發(fā)展現(xiàn)狀

　　4、最新進(jìn)展

　　5、結(jié)論

　　什么是圖形化藍(lán)寶石襯底?

　　PSS(Patterned Sapphire Substrate)，是指在藍(lán)寶石襯底上制作出周期性圖形。具體指利用標(biāo)準(zhǔn)的光刻工藝將藍(lán)寶石襯底表面的掩膜刻出圖形，之后用ICP或濕法刻蝕技術(shù)刻蝕藍(lán)寶石襯底，去除掉掩膜后生長GaN材料，使GaN材料的縱向外延變?yōu)闄M向外延。

　　特點(diǎn)：

　　1、可以有效減少GaN外延材料的位錯密度，從而減小有源區(qū)的非輻射復(fù)合，提高內(nèi)量子效率，減小反向漏電流，提高LED的壽命。

　　2、有源區(qū)發(fā)出的光，經(jīng)GaN和藍(lán)寶石襯底界面多次散射，改變了原全反射光的入射角，增加了LED光出射的幾率，從而提高了光的提取效率。

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圖、幾類藍(lán)寶石圖形化襯底

圖、使用圖形化襯底(PSS)與傳統(tǒng)藍(lán)寶石襯底的對比圖